Zentrales Innovationsprogramm Mittelstand des BMWi (ZIM) (Archiv)
 | Neue Messmethodik für die Werkstoffentwicklung (>> mehr) Projektleitung: D. Hömberg 1. Oktober 2009 - 31. Oktober 2011 |
| Gittersimulation im Field Tracing Projektleitung: B. Schmidt 1. März 2012 - 28. Februar 2014 |
 | Entwicklung eines hybriden Scattering-Matrix-Algorithmus für die indirekte Vermessung von Oberflächenstrukturen bei Plasma-Ätzprozessen (>> mehr) Projektleitung: A. Rathsfeld 1. Mai 2015 - 30. Juni 2017 |