Bearbeiter: H. Stephan
Kooperation: N. F. Morozov, Lehrstuhl für Elastizitätstheorie, Institut für Mathematik und Mechanik der Universität St. Petersburg, Rußland;
R. Stephan, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Institutsteil Dresden;
N. Strecker, Institut für Integrierte Systeme, Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
Beschreibung der Forschungsarbeit:
Nur in den einfachsten Fällen beschreibt die klassische Diffusionsgleichung
den Teilchentransport in einem homogenen Medium, wobei
die Wahrscheinlichkeitsdichte der
Zufallstrajektorie
ist. Diese Art der Beschreibung setzt
voraus, daß der Zustand des Teilchens durch seinen Ort bestimmt ist.
Spielt die Geschwindigkeit eine wichtige Rolle (wie etwa beim
Technologieschritt Ionenimplantation), ist
diese Annahme nicht mehr gerechtfertigt,
denn der Zustand eines klassischen
Teilchens wird durch zwei Parameter --- Geschwindigkeit und Ort ---
definiert. Die Zufallstrajektorie des Teilchens ist dann der
Prozeß
mit der Wahrscheinlichkeitsdichte
im Phasenraum.
Ist das Medium räumlich und zeitlich homogen und können
nichtlineare Effekte
vernachlässigt werden, genügt diese Dichte der allgemeinen Gleichung
(siehe [1], [2])
mit einem Operator
Meistens ist die interessierende und beobachtbare Größe trotzdem die räumliche Verteilung
und die betrachtete Phasenraumverteilung ist nur eine
Hilfsgröße. In diesem Zusammenhang stehen folgende Aufgaben:
ist stets Lösung der Gleichung (Verallgemeinerung von
Gleichung (1))
mit einem von t abhängigen Operator der Form
Die Koeffizienten ,
und
(sie hängen im
allgemeinen von
und von der Anfangsgeschwindigkeitsverteilung ab)
lassen sich zum Beispiel im Fall der
allgemeinen Brownschen Bewegung, das heißt, wenn der Operator
ein Pseudodifferentialoperator mit einem Symbol der Form
ist, explizit herleiten. Des weiteren lassen sich physikalische
Bedingungen angeben, wann der erhaltene Operator nicht
explizit von der Zeit abhängt.
Besonders interessant sind Nichtgleichgewichtsprozesse, das heißt
Prozesse, in denen sich bei der Bewegung des Teilchens --- im
Gegensatz zur Brownschen Bewegung --- kein
Gleichgewicht zwischen aufgenommener und abgegebener
Energie einstellt. Das Teilchen gibt
mit der Zeit alle Energie an das Medium ab und kommt zur Ruhe.
In diesen Fällen entarten die Koeffizienten
,
und
im Operator
.
Experimentell beobachtbar und daher
aus physikalischer Sicht interessant ist der Grenzwert
--- die Verteilung der zur Ruhe gekommenen Teilchen mit gegebener
Anfangsgeschwindigkeit . Er verschwindet nicht, auch wenn das
Raumgebiet unbeschränkt ist. Dieses Problem läßt sich
als parabolisches Streuproblem auffassen. Im allgemeinen lassen
sich für derartige Streuprobleme im Gegensatz zu
hyperbolischen keine inversen Aufgaben lösen. Im Falle
von Nichtgleichgewichtsprozessen ist es aber für einige
physikalisch sinnvolle Fälle möglich, das inverse Problem, also
die Bestimmung des Operators
bei gegebenem
,
auf konstruktive Weise exakt zu lösen.
Projektliteratur: