Andreas Rathsfeld Weierstraß-Institut für Angewandte Analysis und Stochastik im Forschungsverbund Berlin e.V. FG4: Nichtlineare Optimierung und Inverse Probleme Mohrenstr. 39 10117 Berlin Sitz: Mohrenstr. 39, Raum 506 Tel.: (030) 20372 457, Fax: (030) 2044 975 e-mail: Andreas.Rathsfeld@wias-berlin.de

Arbeitsgebiet

Modellierung und Optimierung mikrooptischer Oberflächenstrukturen

Interessengebiete

• Randelementmethoden
• Waveletalgorithmen
• Beugung an periodischen Gittern
• Gitteroptimierung
• Scatterometrie

Publikationen

• Liste der WIAS Publikationen
• Liste der Publikationen

Vorträge

• Braunschweig, 245th Seminar on Scatterometry and Ellipsometry on Structured Surfaces, 2009: Modelling and Algorithms for Simulation and Reconstruction in Scatterometry
• Workshop on Inverse Problems for Waves, Methods and Applications, École Polytechnique, 2010: Numerical reconstruction of elastic obstacles from the far-field data of scattered acoustic waves
• Antalya, 6th International Conference, Inverse Problems, Modeling and Simulation, 2012: Inverse Problems for the Scatterometric Measuring of Grating Structures

Poster

• Diffractive Optics 2003, Oxford: Simulation, Optimization, and Reconstruction of Diffractive Structures
• SCEE 2012, Zürich: Numerical Solution for Scattering by Biperiodic Gratings Using FEM Coupled by Fourier-Mode Expansions